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분야 | 전기전자(C) > 전기전자 | ||||||||
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적용 범위 | 이 표준은 대규모 반도체 제조 설비에 나노전자 기술을 도입하여 나노물질(예를 들어, 탄소나노튜브, 그래핀, 양자점 등)을 혼합하여 제조하는 생산 체계를 제공한다. 반도체 제조 설비는 높은 수율을 보장하는 방식으로 구성되어야 하므로 제조과정의 운영에 대한 엄격한 요구사항이 존재한다. 나노물질은 반도체 제조설비에서 잠재적 오염원이기 때문에 조직적이고 체계적인 방식으로 사용될 필요가 있다.이 표준은 나노물질을 반도체 제조설비에 도입하는 것을 가능하게 하는 단계들을 제시한다. 이 과정을 원료 획득, 재료 가공, 설계, IC(집적회로) 제작, 평가, 그리고 최종 사용 등의 영역별로 아래에 서술한다. 이 활동들은 반도체 제조 설비에서 공급망의 주요 단계들에 해당된다. | ||||||||
표준명(영어) | Nanomanufacturing — Large scale manufacturing for nanoelectronics | ||||||||
국제표준분류(ICS)코드 |
07.030 : 물리학. 화학 25.020 : 형상제조 |
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국제표준 부합화 |
IEC 62659:2015(IDT) ※ IDT:일치, MOD:수정, NEQ:일치하지 않음 |
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고시기관(고시번호) | 국가기술표준원 (제2017-0105 호) | ||||||||
고시사유 | 국제표준 부합화에 따른 표준화 | ||||||||
KS심사기준 |
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페이지수 | 11 |
표준번호 | 표준명 | 고시일 | 상태 | 고시사유 | 비고 |
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KS C IEC IEEE 62659(2022 확인) | 나노제조 — 나노전자소자의 대규모 제조 | 2022-11-14 | 확인(표준) | 5년도래 확인표준 | |
KS C IEC IEEE 62659 | 나노제조 — 나노전자소자의 대규모 제조 | 2017-05-02 | 제정(구판) | 국제표준 부합화에 따른 표준화 | |
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No. | 표준번호 | 표준명 | 고시일 | 언어 | 제공형태 | 판매가격 | |
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