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표준

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KS C IEC TS 62607-6-3

나노제조 — 주요 제어 특성 — 제6-3부: 그래핀 기반 물질 — 도메인 크기: 기판 산화법
- 발행일 : 2023-08-25
- 발행기관 : 한국표준협회
- 국제표준 부합화 : IEC TS 62607-6-3:2020(IDT)
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분야

전기전자(C) > 전기전자일반

적용 범위

IEC 62607은 다음의 주요 제어 특성을 결정하는 표준 방법을 제시한다. — 도메인 크기를 기판 산화법에 의해 결정 본 표준은 Cu 박판이나 Cu 박막 위에 성장된 그래핀의 도메인 크기를 결정하는데 있어서, 신속하고, 편리하고 신뢰할 수 있는 측정법을 제공한다. 본 방법은 그래핀 도메인 크기가 그래핀의 특성에 미치는 영향을 이해하고 CVD 그래핀을 이용한 고속작동, 유연, 투명 소자의 성능을 향상시키는 방법을 찾는데 도움을 줄 수 있다. — 본 표준을 이용하여 측정된 도메인 크기는 그래핀에 대한 공란 상세 규격(the blank detail specification) IEC 62565-03-01에 주요 제어 특성 표준 항목의 하나로 제시되어 있다. 도메인 밀도는 도메인 크기와 같은 의미로 해석될 수 있지만 본 문서에서는 사용하지 않는다. — 본 표준의 측정법에 의해 제시된 도메인 크기는 공급자에 의해 제시된 면적에서 측정된 도메인의 평균 크기로 정의된다. 도메인 크기는 cm2 혹은 μm2로 표시된다. — 본 표준 측정법은 화학기상증착법에 의해 구리 박막이나 구리 박판 위에 성장된 그래핀에 적용될 수 있다. 구리 박판 위에 성장된 그래핀에 대한 분석은 그래핀을 다른 기판으로 전사하기 전에 이루어진다. — 본 표준 측정법은 파괴 방식이므로 분석에 사용된 시료는 소자 제작 공정에 재 투입되어 사용될 수 없다.

표준명(영어)

Nanomanufacturing — Key control characteristics — Part 6-3: Graphene-based material — Domain size: substrate oxidation

국제표준분류(ICS)코드

07.030 : 물리학. 화학 07.120 : 나노 기술

국제표준 부합화

IEC TS 62607-6-3:2020(IDT)

※ IDT:일치, MOD:수정, NEQ:일치하지 않음

고시기관(고시번호)

국가기술표준원 (제2023-0308호)

고시사유

국제표준 부합화에 따른 표준화

KS심사기준

상세정보 - KS심사기준 표
발행일	상태	심사기준파일	사유
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이력정보

이력정보 표
표준번호	표준명	고시일	상태	고시사유	비고
KS C IEC TS 62607-6-3상세보기	나노제조 — 주요 제어 특성 — 제6-3부: 그래핀 기반 물질 — 도메인 크기: 기판 산화법	2023-08-25	제정(표준)	국제표준 부합화에 따른 표준화

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