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분야 | |
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적용범위 | Statistical methods of analysis, Particle size distribution, Algorithms, Environmental cleanliness, Designations, Mathematical calculations, Outliers, Particulate air pollutants, Sampling methods, Conformity, Test equipment, Samples, Classification systems, Sample location, Clean rooms, Concentration, Sequential sampling |
국제분류(ICS)코드 | 13.040.35 : 클린룸 및 관련 제어 환경 |
페이지수 | 34 |
Edition |
No. | 표준번호 | 표준명 | 발행일 | 상태 |
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1 | BS EN ISO 14644-1:2015 - TC | Tracked Changes. Cleanrooms and associated controlled environments. Classification of air cleanliness by particle concentration. | 2020-02-24 | 표준 |
2 | BS EN ISO 14644-1:2015 | Cleanrooms and associated controlled environments. Classification of air cleanliness by particle concentration. | 2016-01-31 | 표준 |
3 | BS EN ISO 14644-1:1999 | Cleanrooms and associated controlled environments. Classification of air cleanliness. | 2001-03-15 | 폐지 |
BS EN ISO 14644-2:2000 - Cleanrooms and associated controlled environments. Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1. 상세보기
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