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분야 | |
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적용범위 | Semiconductor materials, Semiconductor technology, X-rays |
국제분류(ICS)코드 | 31.080.99 : 기타 반도체 장치 |
페이지수 | 32 |
Edition |
No. | 표준번호 | 표준명 | 발행일 | 상태 |
---|---|---|---|---|
1 | 24/30497109 DC | BS EN IEC 63068-5 Semiconductor devices. Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices. Part 5. Test method for defects using X-ray topography. | 2024-07-12 | 초안 |
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