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    표준

    판매

    ISO 21360-6:2023

    Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 6: Cryogenic vacuum pumps
    • 발행일 : 2023-12-06
    • 발행기관 : ISO
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상세정보

분야 ISO/TC 112 : Vacuum technology
적용범위

This document specifies methods for measuring the volume flow rate, maximum throughput, pumping capacity, base pressure cryogenic vacuum pump, cooldown time and crossover value of cryogenic vacuum pumps.

It is applicable to two-stage, closed-loop gaseous helium cryogenic vacuum pumps, which can be directly flanged to a vacuum chamber.
국제분류(ICS)코드 23.160 : 진공공학
페이지수 12
Edition 1

이력정보

No. 표준번호 표준명 발행일 상태
1 ISO 21360-6:2023상세보기 Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 6: Cryogenic vacuum pumps 2023-12-06 표준

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