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    ISO 14644-2:2015(REDLINE)

    Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
    • 발행일 : 2015-12-09
    • 발행기관 : ISO
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    최신표준과 직전 구판표준의 변경내용을 포함하고 있는 버전. 구입 시 최신표준과 레드라인 두 개 파일을 제공합니다.

상세정보

분야 ISO/TC 209 : Cleanrooms and associated controlled environments
적용범위

ISO 14644-2:2015 specifies minimum requirements for a monitoring plan for cleanroom or clean zone performance related to air cleanliness by particle concentration, based upon parameters that measure or affect airborne particle concentration.

ISO 14644-2:2015 does not address condition monitoring of aspects such as vibration or general maintenance of the engineering systems. It does not provide for monitoring of particle populations that are outside the specified lower threshold particle-size range, 0,1 �m to 5 �m. Concentrations of ultrafine particles (particles smaller than 0,1�m) will be addressed in a separate standard.

국제분류(ICS)코드 13.040.35 : 클린룸 및 관련 제어 환경
페이지수 14
Edition

이력정보

No. 표준번호 표준명 발행일 상태
1 ISO 14644-2:2015상세보기 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration 2015-12-09 표준
2 ISO 14644-2:2015(REDLINE)상세보기 Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration 2015-12-09 표준
3 ISO 14644-2:2000상세보기 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 2: Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1 2000-09-07 구판

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