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클린룸 및 관련된 제어 환경－제3부：시험 방법
| 분야 | 환경(I) > 대기 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 적용 범위 | 이 규격은 클린룸과 청정 구역의 지정된 공기 청정도 등급과 성능을 판별하는 시험 방법을 규정한다. 성능 시험은 2가지 방식(단일 방향류와 비단일 방향류)의 클린룸과 청정 구역 및 3가지 시험 상태(준공 상태, 비운전 상태, 운전 상태)에 대하여 규정한다. 시험 방법은 성능 변수를 결정할 수 있는 시험 장비와 시험 절차를 추천한다. 클린룸이나 청정 구역의 방식에 따라 시험 방법이 영향을 받는 경우 다른 절차가 제안된다. 어떤 시험의 경우 다른 최종 사용을 고려하여 몇 가지 다른 방법과 장비가 추천된다. 구매자와 공급자 사이의 약정이 있다면, 이 규격에 포함되어 있지 않은 다른 방법도 사용될 수 있다. 다 른방법을 사용하는 경우 반드시 동등한 측정이 이루어지는 것은 아니다. 이 규격은 클린룸이나 격리 장 비에서 제품이나 공정의 측정에 적용할 수 없다. | ||||||||
| 표준명(영어) | Cleanrooms and associated controlled environments－Part 3：Test methods | ||||||||
| 국제표준분류(ICS)코드 |
13.040.35 : 클린룸 및 관련 제어 환경 |
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| 국제표준 부합화 |
ISO 14644-3:2005(IDT) ※ IDT:일치, MOD:수정, NEQ:일치하지 않음 |
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| 고시기관(고시번호) | (제2006-0693 호) | ||||||||
| 고시사유 | |||||||||
| KS심사기준 |
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| 페이지수 | 49 | ||||||||
| 표준번호 | 표준명 | 고시일 | 상태 | 고시사유 | 비고 |
|---|---|---|---|---|---|
KS I ISO 14644-3  |
클린룸 및 제어된 환경 —제3부: 시험 방법 | 2021-12-27 | 개정(표준) | 국제표준(ISO, IEC, ITU) 개정내용 반영 | |
| KS I ISO 14644-3(2016 확인) |
클린룸 및 관련된 제어 환경－제3부：시험 방법 | 2016-12-05 | 확인(구판) | 5년도래 확인표준 | |
| KS I ISO 14644-3(2011 확인) |
클린룸 및 관련된 제어 환경－제3부：시험 방법 | 2011-12-26 | 확인(구판) | ||
| KS I ISO 14644-3 |
클린룸 및 관련된 제어 환경－제3부：시험 방법 | 2006-11-28 | 제정(구판) | ||
확인 및 폐지 고시된 표준에 대해서는 마지막 제정 또는 개정 표준을 구입하시면 됩니다. |
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| No. | 표준번호 | 표준명 | 고시일 | 언어 | 제공형태 | 판매가격 | |
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