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분야 | 환경(I) > 대기 | ||||||||
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적용 범위 | 이 규격은 클린룸 또는 청정 구역이 KS M ISO 14644-1에서 정한 공기 중 입자의 청정도 등급의 지속 적 유지 여부를 주기적으로 시험하기 위한 필요 조건을 기술하고 있다. 이들 시험 방법은 클린룸 또는 청정 구역의 청정도 등급 분류를 위한 KS M ISO 14644-1에 언급된 시험법에 따른다. 또한 이규격은 클린룸 또는 청정 구역(이하 청정 시설)이 KS M ISO 14644-1에서 정한 공기 중 입자의 청정도 등급을 만족시키고 있는지 모니터링하기 위한 필요 조건들을 기술하고 있다. | ||||||||
표준명(영어) | Cleanrooms and associated controlled environments-Part 2:Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with KS M ISO 14644-1 | ||||||||
국제표준분류(ICS)코드 |
13.040.35 : 클린룸 및 관련 제어 환경 |
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국제표준 부합화 |
ISO 14644-2:2000(IDT) ※ IDT:일치, MOD:수정, NEQ:일치하지 않음 |
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고시기관(고시번호) | (제2007-0929 호) | ||||||||
고시사유 | |||||||||
KS심사기준 |
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페이지수 | 8 |
표준번호 | 표준명 | 고시일 | 상태 | 고시사유 | 비고 |
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KS I ISO 14644-2(2022 확인) | 클린룸 및 제어된 환경 — 제2부:클린룸 성능 확인을 위한 입자 농도 모니터링 | 2022-12-21 | 확인(표준) | 5년도래 확인표준 | |
KS I ISO 14644-2 | 클린룸 및 제어된 환경 — 제2부:클린룸 성능 확인을 위한 입자 농도 모니터링 | 2017-12-26 | 개정(구판) | 국제표준(ISO) 개정내용 반영 | |
KS I ISO 14644-2(2012 확인) | 클린룸 및 관련된 제어환경-제2부: KS M ISO 14644-1의 지속적인 등급 유지를 위한 시험 및 모니터링 규격 | 2012-12-27 | 확인(구판) | ||
KS I ISO 14644-2 | 클린룸 및 관련된 제어환경-제2부: KS M ISO 14644-1의 지속적인 등급 유지를 위한 시험 및 모니터링 규격 | 2007-10-31 | 개정(구판) | ||
KS I ISO 14644-2 | 클린룸 및 관련된 제어 환경-제2부:KS M ISO 14644-1의 지속적인등급 유지를 위한 시험 및 모니터링 규격 | 2002-08-30 | 제정(구판) | ||
확인 및 폐지 고시된 표준에 대해서는 마지막 제정 또는 개정 표준을 구입하시면 됩니다. |
No. | 표준번호 | 표준명 | 고시일 | 언어 | 제공형태 | 판매가격 | |
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