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클린룸 및 관련 제어 환경 — 제10부: 화학물질 농도에 따른 표면 청정도 등급 분류
| 분야 | 환경(I) > 대기 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 적용 범위 | 이 표준에서는 화학적 혼합물 또는 원소(분자, 이온, 원자 및 입자 포함)의 존재와 관련하여, 클린룸에서 표면 청정도에 대한 등급 분류에 대하여 규정한다. 이 표준은 벽, 천장, 바닥, 작업 환경, 공구, 장비 및 제품과 같이 클린룸 및 관련 제어 환경의 모든 고체 표면에 적용된다. | ||||||||
| 표준명(영어) | Cleanrooms and associated controlled environments — Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration | ||||||||
| 국제표준분류(ICS)코드 |
13.040.35 : 클린룸 및 관련 제어 환경 |
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| 국제표준 부합화 |
ISO 14644－10:2013(IDT) ※ IDT:일치, MOD:수정, NEQ:일치하지 않음 |
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| 고시기관(고시번호) | (제2014-0991 호) | ||||||||
| 고시사유 | 클린룸내 화학물질 농도에 따른 표면 청정도를 분류한 ISO 14644-10:2013을 KS로 부합화하여 활용코자 함 | ||||||||
| KS심사기준 |
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| 페이지수 | 28 | ||||||||
| 표준번호 | 표준명 | 고시일 | 상태 | 고시사유 | 비고 |
|---|---|---|---|---|---|
KS I ISO 14644-10  |
클린룸 및 제어된 환경 — 제10부: 화학물질 농도에 따른 표면 청정도 등급 분류 | 2019-03-13 | 개정(표준) | 용어 통일 및 일부 문구 수정 | |
| KS I ISO 14644-10 |
클린룸 및 관련 제어 환경 — 제10부: 화학물질 농도에 따른 표면 청정도 등급 분류 | 2014-12-31 | 제정(구판) | 클린룸내 화학물질 농도에 따른 표면 청정도를 분류한 ISO 14644-10:2013을 KS로 부합화하여 활용코자 함 | |
확인 및 폐지 고시된 표준에 대해서는 마지막 제정 또는 개정 표준을 구입하시면 됩니다. |
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| No. | 표준번호 | 표준명 | 고시일 | 언어 | 제공형태 | 판매가격 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | KS I ISO 14644-1 | 클린룸 및 제어된 환경 — 제1부: 입자 농도에 의한 공기 청정도 등급분류 | 2022-12-21(확인) | 한글 | 39,600원 | ||
| 2 | KS I ISO 14644-6 | 클린룸 및 제어된 환경 — 제6부: 용어 | 2022-12-21(확인) | 한글 | 27,900원 | ||
인용표준 2종 이상 선택 시 20% 할인 |
총 0종 선택 |
0원 0원 |
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KS I ISO 14644-8 - 클린룸 및 제어된 환경 — 제8부: 화학물질 농도에 따른 공기 청정도 등급 분류 상세보기
KS I ISO 14644-10 - 클린룸 및 제어된 환경 — 제10부: 화학물질 농도에 따른 표면 청정도 등급 분류 상세보기
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