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클린룸 및 관련 제어 환경 — 제9부: 부착 입자 농도에 따른 표면 청정도 분류
| 분야 | 환경(I) > 대기 | ||||||||
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| 적용 범위 | 이 표준은 클린룸 및 관련 제어 환경 분야의 고체 표면상 입자 농도에 따른 청정도 분류에 대하여 규정한다. 부속서 A∼D에서 표면 특성에 대한 시험 및 측정 방법 관련 권장 사항과 정보를 제공한다.이 표준은 벽, 천장, 바닥, 작업 환경, 공구, 장비 및 제품과 같이 클린룸 및 관련 제어 환경의 모든 고체 표면에 적용된다. 입자 농도별 표면 청정도(SCP, surface cleanliness by particle concentration)의 분류는 입자 크기가 0.05 μm에서 500 μm 사이의 입자로 제한한다.다음 사항은 이 표준에 해당되지 않는다.― 특정 과정에 대한 표면 청정도 및 적합성 관련 요구사항― 표면 청결 절차― 재질 특성― 일반적으로 시간 및 과정에 의존하는 상호 작용 접착력 또는 생성 과정에 대한 참조― 분류 및 시험을 위한 통계 방법 선택 및 사용― 정전하, 이온 전하, 미생물학적 상태 등과 같은 기타 입자 특성? | ||||||||
| 표준명(영어) | Cleanrooms and associated controlled environments — Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration | ||||||||
| 국제표준분류(ICS)코드 |
13.040.35 : 클린룸 및 관련 제어 환경 |
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| 국제표준 부합화 |
ISO 14644－9:2012(IDT) ※ IDT:일치, MOD:수정, NEQ:일치하지 않음 |
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| 고시기관(고시번호) | (제2014-0991 호) | ||||||||
| 고시사유 | 고체 표면상 입자농도에 따른 청정도 분류를 규정한 ISO 14644-9:2012를 KS로 부합화하여 활용코자 함 | ||||||||
| KS심사기준 |
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| 페이지수 | 26 | ||||||||
| 표준번호 | 표준명 | 고시일 | 상태 | 고시사유 | 비고 |
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KS I ISO 14644-9  |
클린룸 및 제어된 환경 — 제9부:부착 입자 농도에 따른 표면 청정도 분류 | 2019-03-13 | 개정(표준) | 용어 통일 및 일부 문구 수정 | |
| KS I ISO 14644-9 |
클린룸 및 관련 제어 환경 — 제9부: 부착 입자 농도에 따른 표면 청정도 분류 | 2014-12-31 | 제정(구판) | 고체 표면상 입자농도에 따른 청정도 분류를 규정한 ISO 14644-9:2012를 KS로 부합화하여 활용코자 함 | |
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| No. | 표준번호 | 표준명 | 고시일 | 언어 | 제공형태 | 판매가격 | |
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