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분야 | 환경(I) > 대기 | ||||||||
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적용 범위 | 이 표준은 반도체 및 디스플레이 산업의 식각 및 증착 공정에서 사용되고 있는 각종 Non-CO 2 온실 가스(CF 4 , NF 3 , SF 6 및 N 2 O)를 QMS와 FTIR을 이용하여 개별 Non-CO 2 온실가스의 체적 유량 산정에 적용한다. | ||||||||
표준명(영어) | Measurement method for volumetric flow rate of Non-CO 2 GHG(CF 4 , NF 3 , SF 6 , N 2 O) in industrial process and display process | ||||||||
국제표준분류(ICS)코드 |
13.040.35 : 클린룸 및 관련 제어 환경 |
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국제표준 부합화 | |||||||||
고시기관(고시번호) | 환경부 (제2018-26호) | ||||||||
고시사유 | 사회적 요청에 의한 표준화 | ||||||||
KS심사기준 |
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페이지수 | 19 |
표준번호 | 표준명 | 고시일 | 상태 | 고시사유 | 비고 |
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KS I 0587 | 고정 배출원 − 반도체 및 디스플레이 공정에서 사용되는 Non-CO2 온실가스(CF4, NF3, SF6, N2O) 체적 유량 측정방법 | 2023-12-29 | 개정(표준) | 자체 검토에 의한 개정 | |
KS I 0587 | 반도체 및 디스플레이 공정에서 사용되는 Non-CO 2 온실가스(CF 4 , NF 3 , SF 6 , N 2 O)체적 유량 측정방법 | 2018-06-19 | 제정(구판) | 사회적 요청에 의한 표준화 | |
확인 및 폐지 고시된 표준에 대해서는 마지막 제정 또는 개정 표준을 구입하시면 됩니다. |
No. | 표준번호 | 표준명 | 고시일 | 언어 | 제공형태 | 판매가격 | |
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1 | KS I 2219 | 가스분석장치 교정방법 통칙 | 2020-12-30(확인) | 한글 | 7,300원 | ||
2 | KS I ISO 16664 | 가스분석-교정용 가스 및 혼합가스-취급지침 | 2020-12-30(확인) | 한글 | 21,100원 | ||
3 | KS I ISO 22892 | 토양의 질 — 가스크로마토그래프 — 질량분석기를 이용한 대상 화합물의 확인 분석을 위한 지침 | 2024-04-05(확인) | 한글 | 16,700원 | ||
4 | KS I ISO 6145-7 | 가스분석-동적 부피측정법을 이용한 교정용 혼합가스의 제조-제7부:열 질량 유량 조정기 | 2020-12-30(확인) | 한글 | 21,100원 | ||
5 | KS I ISO 7504 | 가스 분석-용어 | 2020-12-30(확인) | 한글 | 27,900원 | ||
6 | KS M 0024 | 적외선 분광 분석 방법 통칙 | 2022-07-29(확인) | 한글 | 12,000원 | ||
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