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KS D ISO 14237
표면 화학 분석 — 이차 이온 질량분석법 — 실리콘 내에 균일하게 도핑된 붕소 원자 농도의 결정- 발행일 : 2025-05-12
- 발행기관 : 한국표준협회
- 국제표준 부합화 : ISO 14237:2010(IDT)
상세정보
| 분야 | 금속(D) > 분석 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 적용 범위 | 이 표준은 붕소가 이온 주입된 인증기준물질로 보정된 균일하게 도핑된 물질을 이용하여 단결정 실리콘 내의 붕소 원자 농도를 측정하는 이차 이온 질량분석법에 대하여 규정한다. 이 방법은 1 × 1016 atoms/cm3 ~ 1 × 1020 atoms/cm3의 농도 범위로 균일하게 도핑된 붕소를 분석하는 데 적용한다. | ||||||||
| 표준명(영어) | Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry —Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials | ||||||||
| 국제표준분류(ICS)코드 | 71.040.40 : 화학 분석 | ||||||||
| 국제표준 부합화 |
ISO 14237:2010(IDT)
※ IDT:일치, MOD:수정, NEQ:일치하지 않음 |
||||||||
| 고시기관(고시번호) | 국가기술표준원 (제2025-0077호) | ||||||||
| 고시사유 | 국제대응표준 개정 (ISO 개정사항 반영) | ||||||||
| KS심사기준 |
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| 페이지수 | 22 | ||||||||
이력정보
| 표준번호 | 표준명 | 고시일 | 상태 | 고시사유 | 비고 |
|---|---|---|---|---|---|
| KS D ISO 14237상세보기 | 표면 화학 분석 — 이차 이온 질량분석법 — 실리콘 내에 균일하게 도핑된 붕소 원자 농도의 결정 | 2025-05-12 | 개정(표준) | 국제대응표준 개정 (ISO 개정사항 반영) | |
| KS D ISO 14237(2023 확인)상세보기 | 표면하학분석 - 이차이온질량분석 - 실리콘 내에 균일하게 첨가된 붕소원자 농도의 측정방법 | 2023-06-30 | 확인(구판) | 5년도래 확인표준 | |
| KS D ISO 14237(2018 확인)상세보기 | 표면하학분석 - 이차이온질량분석 - 실리콘 내에 균일하게 첨가된 붕소원자 농도의 측정방법 | 2018-12-04 | 확인(구판) | 5년도래 확인표준 | |
| KS D ISO 14237(2013 확인)상세보기 | 표면하학분석 - 이차이온질량분석 - 실리콘 내에 균일하게 첨가된 붕소원자 농도의 측정방법 | 2013-12-19 | 확인(구판) | ||
| KS D ISO 14237(2008 확인)상세보기 | 표면하학분석 - 이차이온질량분석 - 실리콘 내에 균일하게 첨가된 붕소원자 농도의 측정방법 | 2008-12-31 | 확인(구판) | ||
| KS D ISO 14237상세보기 | 표면 화학 분석－이차 이온 질량 분석－실리콘 내에 균일하게 첨가된 붕소 원자 농도의 측정 방법 | 2003-10-06 | 개정(구판) | ||
| KS D ISO 14237상세보기 | 표면 화학 분석-이차 이온 질량 분석-실리콘 내에 균일하게 첨가된 붕소 원자 농도의 측정 방법 | 2002-11-21 | 제정(구판) |
확인 및 폐지 고시된 표준에 대해서는 마지막 제정 또는 개정 표준을 구입하시면 됩니다.
인용표준
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No | 표준번호 | 표준명 | 고시일 | 언어 | 제공형태 | 판매가격 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
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1 | KS A ISO 5725-2상세보기 | 측정방법 및 측정결과의 정확도(진도 및 정밀도) — 제2부: 표준 측정방법의 반복성 및 재현성 결정을 위한 기본 방법 | 2021-12-24(개정) | 한글 | 60,600원 | |
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2 | KS D ISO 17560상세보기 | 표면 화학 분석 — 이차 이온 질량분석법 — 실리콘 내의 붕소 깊이분포분석 방법 | 2025-05-12(개정) | 한글 | 18,000원 | |
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|
3 | KS D ISO 18114상세보기 | 표면 화학 분석 — 이차 이온 질량 분석법 — 이온 주입된 기준물질로부터 상대 감도 인자의 결정 | 2025-12-22(개정) | 한글 | 12,700원 |
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