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    ISO 14644-1:2015(REDLINE)

    Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration
    • 발행일 : 2015-12-09
    • 발행기관 : ISO
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상세정보

분야 ISO/TC 209 : Cleanrooms and associated controlled environments
적용범위

ISO 14644-1:2015 specifies the classification of air cleanliness in terms of concentration of airborne particles in cleanrooms and clean zones; and separative devices as defined in ISO 14644‑7.

Only particle populations having cumulative distributions based on threshold (lower limit) particle sizes ranging from 0,1 �m to 5 �m are considered for classification purposes.

The use of light scattering (discrete) airborne particle counters (LSAPC) is the basis for determination of the concentration of airborne particles, equal to and greater than the specified sizes, at designated sampling locations.

ISO 14644-1:2015 does not provide for classification of particle populations that are outside the specified lower threshold particle-size range, 0,1 �m to 5 �m. Concentrations of ultrafine particles (particles smaller than 0,1 �m) will be addressed in a separate standard to specify air cleanliness by nano-scale particles. An M descriptor (see Annex C) may be used to quantify populations of macroparticles (particles larger than 5 �m).

ISO 14644-1:2015 cannot be used to characterize the physical, chemical, radiological, viable or other nature of airborne particles.

국제분류(ICS)코드 13.040.35 : 클린룸 및 관련 제어 환경
페이지수 37
Edition

이력정보

No. 표준번호 표준명 발행일 상태
1 ISO 14644-1:2015상세보기 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration 2015-12-09 표준
2 ISO 14644-1:2015(REDLINE)상세보기 Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration 2015-12-09 표준
3 ISO 14644-1:1999상세보기 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 1: Classification of air cleanliness 1999-05-06 구판

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