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KS I 9100(2025 확인)
독성가스 및 온실가스 스크러버- 변경전표준 : KS I 9100
- 발행일 : 2025-10-02
- 발행기관 : 한국표준협회
상세정보
| 분야 | 환경(I) > 기타 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 적용 범위 | 이 표준은 반도체, 디스플레이 제조공정 등에 사용되는 스크러버 최대 용량 3 000 L/min 이하의 연소식, 열원식, 플라즈마식, 습식, 복합 형식의 독성가스 및 온실가스의 1차 스크러버에 대하여 규정한다. 이 표준은 공기 희석ㆍ냉각 방식과 2차적으로 처리하는 통합 스크러버에는 적용하지 않는다. 스크러버의 성능시험은 독성가스(AsH3, SiH4, CO, PH3, NO, HCl, BCl3, NH3) 및 온실가스(CF4, NF3, SF6, N2O)에 적용한다. 비고 : 그 외 독성가스 및 온실가스는 필요시 추가한다. | ||||||||
| 표준명(영어) | Toxic gas and greenhouse gas scrubber | ||||||||
| 국제표준분류(ICS)코드 | 71.040.40 : 화학 분석 | ||||||||
| 국제표준 부합화 | |||||||||
| 고시기관(고시번호) | 국가기술표준원 (제2025-0319호) | ||||||||
| 고시사유 | 5년 도래 확인 | ||||||||
| KS심사기준 |
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| 페이지수 | 17 |
이력정보
| 표준번호 | 표준명 | 고시일 | 상태 | 고시사유 | 비고 |
|---|---|---|---|---|---|
| KS I 9100(2025 확인)상세보기 | 독성가스 및 온실가스 스크러버 | 2025-10-02 | 확인(표준) | 5년 도래 확인 | |
| KS I 9100상세보기 | 독성가스 및 온실가스 스크러버 | 2020-05-22 | 개정(구판) | 현장상황에 맞게 용어, 기준 등 개정 | |
| KS I 9100상세보기 | 독성가스 및 온실가스 스크러버 | 2018-12-28 | 제정(구판) | 스크러버 성능(유량별 가스저감 효율 등) |
확인 및 폐지 고시된 표준에 대해서는 마지막 제정 또는 개정 표준을 구입하시면 됩니다.
인용표준
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No | 표준번호 | 표준명 | 고시일 | 언어 | 제공형태 | 판매가격 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
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1 | KS A ISO 11429상세보기 | 인간공학－청각적ㆍ시각적 위험 신호와 정보 신호의 체계 | 2023-08-09(확인) | 한글 | 14,800원 | |
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2 | KS C IEC 60204-1상세보기 | 기계류의 안전성 — 기계의 전기 장비 — 제1부: 일반 요구사항 | 2021-01-15(개정) | 한글 | 103,900원 | |
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3 | KS C IEC 60990상세보기 | 접촉 전류와 보호 도체 전류의 측정법 | 2024-04-09(개정) | 한글 | 51,600원 | |
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4 | KS I 0587상세보기 | 고정 배출원 − 반도체 및 디스플레이 공정에서 사용되는 Non-CO2 온실가스(CF4, NF3, SF6, N2O) 체적 유량 측정방법 | 2023-12-29(개정) | 한글 | 16,700원 | |
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5 | KS S ISO 3864-1상세보기 | 그래픽 심볼— 안전색 및 안전 표지 —제1부: 안전 표지 및 안전 표시의 디자인 원칙 | 2021-10-25(확인) | 한글 | 25,000원 | |
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6 | KS S ISO 3864-2상세보기 | 그래픽 심볼－안전색 및 안전 표지－제2부：제품 안전 라벨의 디자인 원칙 | 2022-12-16(확인) | 한글 | 25,000원 | |
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7 | KS S ISO 3864-3상세보기 | 그래픽 심볼－안전색 및 안전표지－제3부：안전표지용 그래픽 심볼 디자인 원칙 | 2022-12-16(확인) | 한글 | 27,900원 | |
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8 | KS S ISO 7000상세보기 | 장비에 이용되는 그래픽 심볼 — 등록된 심볼 | 2023-12-29(개정) | 한글 | 212,100원 |
인용표준 2종 이상 선택시 20% 할인
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